Berührungslose Schichtdicken-/ Oberflächen-Messung

Isis optronics GmbH setzt mit StraDex 80 s, einem neuartigen optischen Scanner, Maßstäbe bei der berührungslosen in-line Prozesskontrolle. Schichtdicken bzw. topographische Oberflächen können innerhalb eines Tiefenbereiches von 0,3 mm mit Genauigkeiten bis unter 100 nm vermessen werden.
Bei Schichtsystemen in Multifolien bzw. Multibeschichtungen sind mehrere Schichten gleichzeitig erfassbar. Bei 4000 Tiefenscans pro Sekunde stehen genug Messwerte für
einen Feedbackprozess auch bei schnell laufenden Produktionsanlagen zur Verfügung. Nichtmetalle und Metalle lassen sich mit einer lateralen Genauigkeit von etwa 1 1/2 m topgraphisch abrastern. Sich verändernde Arbeitsabstände werden stets durch ein Autofokus-System im Sensorkopf über einige mm Wegänderung korrigiert.