Hochgeschwindigkeitssensor für die optische Metrologie

Der neue Hochgeschwindigkeits-3D-Sensor S Onix basiert auf der Weißlichtinterferometrie und wird überall dort eingesetzt, wo es auf hohen Probendurchsatz ankommt. Unter Verwendung spezieller Algorithmen und einer schnellen Kamera werden 3D-Messungen mit VGA-Auflösung in ca. 3 Sekunden, und damit bis zu 7x schneller als herkömmliche interferometrische Messungen, möglich.

Der Messkopf wurde speziell zur Inline-Prozessüberwachung entwickelt und ist auch zur Integration in vorhandene Maschinen geeignet. Das System ist mit einer weißen LED mit hoher Lebensdauer und einem für die jeweilige Anwendung geeigneten Objektiv ausgestattet. S Onix misst 3D Mikround Nanogeometrien wie Rauheiten, Textur, Struktur oder Schichtdicken schnell und berührungslos. Die vertikale Auflösung liegt bei 1nm. Zum Einsatz kommt die neue Senso-Scan 6-Software (64Bit) mit intuitiver Benutzeroberfläche. Rauheitsmessungen sind nach den aktuellsten DIN/ISO-Normen möglich, genauso wie die externe Ansteuerung des Systems über ein optionales Software Development KIT.