Plasmareiniger & Trockenstationen

Der Plasmareiniger TPS 316 und die Trockenpumpstände TS 316 und TS 516 basieren auf einem Turbopumpstand modernster Bauart. Die Kombination einer Turbomolekularpumpe mit einer Membranpumpe sorgt für ölfreies Vakuum. Der Plasmareiniger TPS 316 ist mit einem Hauptrezipienten zum Reinigen der Proben und Probenhalter im Plasma und zwei Subrezipienten zum Aufbewahren und Trocknen der Probenhalter ausgestattet.

Die Trockenpumpstände TS 316 und TS 516 ermöglichen ein Evakuieren von bis zu fünf Probenhaltern in separaten Kammern. Alle benötigten Parameter wie Frequenz und Strom der Turbopumpe, Plasmaempfindlichkeit und Vakuumanzeige werden durch Balkendiagramme am Touchscreen angezeigt.