Positioniersystem für Schrittweiten im Nanometerbereich

Mit dem Lineartisch N-664 stellt Physik Instrumente (PI) ein neues Piezopositioniersystem vor. Ein Nexact Piezolinearantrieb ersetzt die üblichen Schritt- oder DC-Servomotoren, wodurch eine Positionsauflösung von weit unter einem Nanometer möglich ist. Darauf abgestimmt ist der optische Linearencoder PI One mit einer Auflösung von 0,5 nm, wodurch wiederholbar inkrementelle Bewegungen von 2 nm erzielt werden.

Das System ist mit präzisen, belastbaren Kreuzrollenlager aus Edelstahl ausgestattet. Sie geben dem Mikrolineartisch die nötige Belastbarkeit und Führungsgenauigkeit für einen dynamischen Betrieb mit Höchstgeschwindigkeiten von 10 mm/s. Der Linearencoder PI One arbeitet nach einem interferometrischen Messprinzip und kann so trotz hoher Geschwindigkeiten sehr präzise Messergebnisse im Sub-Nanometerbereich liefern.

Der Nexact-Antrieb ist als direkter Linearantrieb frei von Präzisionsverlusten und kann die Position im ausgeschalteten Zustand stabil halten. Der Antrieb muss dann nicht bestromt werden und erwärmt sich nicht.