13.08.2009

Sensoren leisten Nanometerauflösung bei 269°C

Neue kapazitive Sensoren der Serie capaNCDT von Micro-Epsilon liefern auch bei 4 Kelvin Umgebungstemperatur Nanometerauflösung. Speziell für die besonders niedrigen Umgebungstemperaturen wurden diese Sensoren entwickelt. Die Sensoren müssen bei 269°C identische Ergebnisse liefern wie bei Raumtemperatur. Möglich ist dies durch den Einsatz ganz spezieller Werkstoffe für Sensor und Kabel und eine neuartige Konstruktion, die sehr stabile Messergebnisse liefert. Die Sensoren werden durch die extremen Umgebungsbedingungen nicht beeinflusst. Sie werden beispielsweise in Nano-Positioniereinheiten für Rasterkraftmikroskope verwendet. Die Sensoren können mit allen verfügbaren Controllern der capaNCDT Serie betrieben werden.

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Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG

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