Schnelle, hochpräzise CCD Laser-Wegmesssensoren

Beim neuen linearisierten CCD wird durch die Fehlerreduzierung an den Pixelkanten eine Präzision erzielt, die um das Zweifache höher liegt als bei herkömmlichen Modellen: Da ein CCD-Element jeweils separate digitale Ausgabeeigenschaften für jeden einzelnen Pixel besitzt, stellten Fehler, die bei der graduellen Ausgabe an den Pixelkanten auftraten, bisher ein großes Hindernis auf dem Weg zu einer höheren Präzision dar. Quasi als “Gegenmaßnahme” entwickelte Keyence ein Li-CCD, das die Position des reflektierten Lichts in einem Pixel ausgibt. Dadurch wird eine etwa zweifach höhere Präzision erzielt als bei herkömmlichen Modellen. Darüber hinaus steigert die dedizierte Bauweise des Sensors die Verarbeitungsgeschwindigkeit, die um das 25- fache höher liegt, sowie die Empfindlichkeit, die um das Zehnfache besser ist als bei herkömmlichen Modellen. Damit sind Auflösungen von 1 µm und eine Linearität von ±0,1% möglich. Außerdem konnte eine Beeinflussung der Messung durch Farbe, Oberflächenbeschaffenheit oder Störlicht innovativ vermieden werden.

Ein neues optisches System mit breitem Strahlpunkt ermöglicht zudem zuverlässige Messungen von unebenen Oberflächen. Dabei werden diffuse Reflexionen von Messobjekten mit rauen Oberflächen gemittelt, um Messwertschwankungen zu verhindern.