SU-70 Höchstauflösendes Analytisches FE-REM

Das neue Hitachi SU-70 mit Schottky-Elektronenquelle kombiniert die weltbekannte Hitachi-Bildqualität mit nahezu unbeschränkten analytischen Fähigkeiten in einer einzigen Anlage. Die neuen Elektronenoptik liefert stabile Probenströme bis über 200nA für analytische Arbeiten mit kurzen Integrationszeiten. Ferner verfügt sie über zwei Betriebsmodi, die neben hochaufgelöstem Abbilden bis herab zu niedrigsten Strahlenergien, im Feld-freien Modus optimale Bedingungen für EBSD und die Untersuchung stark magnetischer Proben bieten.

Eine ausgeklügelte Detektorstrategie, aufbauend auf Hitachi’s patentiertem „Super ExB Filter“, ermöglicht die Erfassung und Kombinierung des gesamten von einer Probe emittierten Signalspektrums, beginnend mit feinster Oberflächentopographie und elektrischen Potentialunterschieden, über Materialkontraste bis hin zu Orientierungsunterschieden kristalliner Strukturen.

Die Probenkammer des SU-70 bietet 15 Anschlußöffnungen für Zubehör und erlaubt damit den komplimentären Einsatz verschienener analytischer Geräte wie z.B. EDX, WDX (vollfokussierend und PBS), EBSD, Kathodolumineszenz, EBIC, Rückstreudetektor, Transmissions-Elektronendetektor und Cryo-Transfer.