07.05.2007 • Bildverarbeitung / Optische Messtechnik

Schichtdicke an Multilayern berührungslos messen

IBS Precision Engineering bv Spezialist für Präzisionsmessungen stellt zusammen mit Lumetrics Inc. das neue OptiGauge-System vor. Dies ist ein neuer Ansatz zur berührungslosen optischen Messung von Mehrschicht-Mate­rialien (Multilayer). Die Messtechnik ist schnell, hochgenau, zuverlässig und auf nahezu jedes Qualitätssicherungslabor oder eine Produktionsüberwachung skalierbar. Mit dem OptiGauge, das ausführlich durch Eastman Kodak erprobt und getestet wurde, können Single- oder Multilayer-Materialien mit ebenen und gekrümmten Oberflächen und Konturen gemessen werden. Der Messbereich reicht von 12 µm bis 12 mm, die Genauigkeit beträgt 0,1 µm und dies bei einer Auflösung von 0,03 µm. Die Abtast­rate kann zwischen 30 und 100 Hz eingestellt werden, wobei niedrigere Abtastraten das Signal-Rausch-Verhältnis weiter verbessern.

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