Lösungen für die Analyse von hochreinen Gasen

Die Firma Ellutia präsentiert einen High-Purity Gasanalysator (HPGA). Maßgeschnitten für den Einbau in einen 19-Zoll-Messschrank sind diese Gaschromatographen mit Hilfe führender Gaslieferanten konzipiert worden, um die anspruchsvollen Bedürfnisse der Industrie zu erfüllen. Ein hohes Maß an Flexibilität ermöglicht den Einbau von bis zu zwei Detektoren, mehreren Trennsäulen in einem Säulenofen und bis zu fünf Säulenschaltventilen. Das System beinhaltet ein 6U 19-Zoll- Schrankmodul mit einem zweiten Modul für die Gasversorgungseinheiten. Die Nachweisgrenzen liegen bei ca. 5 ppb für Spurenverunreinigungen unter Einsatz eines gepulsten Entladungsionisations- Detektor (PDID) und im niedrigen Prozentbereich mit einem Wärmeleitfähigkeits- Detektor (WLD).

Weitere Detektorkombinationen sind PDID / Flammenionisations- Detektor (FID) für die Bestimmung von Kohlenwasserstoffen über einen breiten linearen Bereich sowie die Verwendung von zwei PDIDs für maximale Flexibilität und Empfindlichkeit. Zielkunden für die High-Purity Gasanalysatoren sind u. a. Hersteller von hochreinen Gasen, die Elektronikindustrie einschließlich Halbleiter- und Fernseh-Hersteller, die Getränkeindustrie sowie Stahlhersteller und Produzenten von Eichgasmischungen. Die Analysatoren können folgende Spurenverunreinigungen bestimmen:

H₂, Ar/O₂, N₂, CH₄, CO, CO₂, C₂H₆, Kr, Xe, und Freonen

in den folgenden Matrixgasen:

H₂, Ar, O₂, N₂, CO₂, HCl, SiH₄, BCl₃, N₂O, CF₄ und SF₆.