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Massenspektrometer

Mit dem PrismaPlus bietet Pfeiffer Vacuum ein neues Massenspektrometer für die qualitative und quantitative Gasanalyse sowie zur Lecksuche an. Die Kombination hoher Empfindlichkeit mit Stabilität und intelligenter ­Bedienbarkeit ist das Plus des Massenspektrometers. Im täglichen Einsatz profitiert der Anwender von dem robusten, kompakten Aufbau und der einfachen Systemintegration. Aufgrund der Auswahlmöglichkeiten von Massenbereichen, Detektoren und Ionenquellen sowie der Schnittstellenoptionen sind Einsatzmöglichkeiten bei industriellen und analytischen Anwendungen, in der Forschung & Entwicklung, bei der Lecksuche und Halbleiterproduktion sowie in der Beschichtungstechnik möglich. Bei ­Anwendungen zur Qualitätssicherung und Restgasanalyse bis hin zu komplexen, quantitativen Aufgabenstellungen ist das System die passende ­Lösung. Es liefert höchst präzise Ergebnisse in drei verschiedenen Massenbereichen bis zu einer Nachweisgrenze von 1 x 10min mbar. Je nach ­Anwendung kann zwischen 1100, 1200 und 1300 amu ausgewählt werden. Kleinste Verunreinigungen in der Vakuumanlage können in kürzester Zeit aufgedeckt werden. Verschiedene Detektoren stehen zur Verfügung. Das Massenspektrometer kann außer zur Anzeige von auswählbaren Partialdrücken auch zur Überwachung des Totaldrucks durch direkten Anschluss einer Messröhre eingesetzt werden.

	Diese Produktinformation wurde auch publiziert in GIT Labor-Fachzeitschrift 11/2007.